u반도체 업계의 고정밀 Dispensing응용을 위해 특별히 개발 ;

uC고정밀 ,리니어 모터 구동, 위치 정밀도<10um;

u높은 안정성,일체형 프레임,기계정밀도가 장기간 안정적이고 신뢰;

u8/12인치 웨이퍼 작업대를 배치 가능,웨이퍼 Dispenser의 응용 요구 사항 충족 ;

u적응성이 높고 Piezo Valve (jet) Dispensing시스템을 구성했으며 다양한 고정밀 공정응용 요구사항을 충족하기 위해 다각도 Dispensing 가능;